1 简介

真(zhen)空泵是一种旋(xuan)转式变容真(zhen)空泵须有(you)前级泵配合方(fang)可使用在较宽的压力(li)范围内有(you)较大的抽速对(dui)被抽除气体(ti)中(zhong)含有(you)灰尘和(he)水蒸汽不敏(min)感广泛(fan)用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的(de)压力范(fan)围内有较(jiao)大的(de)抽速(su)；

(2)转(zhuan)(zhuan)子(zi)具有(you)良好的几何对称性，故振动(dong)(dong)小，运(yun)转(zhuan)(zhuan)平稳(wen)。转(zhuan)(zhuan)子(zi)间(jian)及(ji)转(zhuan)(zhuan)子(zi)和壳体(ti)间(jian)均(jun)有(you)间(jian)隙，不(bu)用(yong)润滑(hua)，摩擦损失小，可大大降(jiang)低驱动(dong)(dong)功率，从而可实现较高转(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用油(you)密封和润滑，可减(jian)少(shao)油(you)蒸气对真空系统(tong)的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被(bei)抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感(gan)；

(5)压缩(suo)比较低，对氢气(qi)抽气(qi)效果差；

(6)转子表面(mian)为形(xing)状较为复杂的曲线(xian)柱面(mian)，加(jia)工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体结构型(xing)式

真空(kong)泵的泵体的布置结构决定(ding)了泵的总体结构。

立式结(jie)构的(de)进、排气口水平设置，装(zhuang)配和连(lian)接管路都比较方便。但泵(beng)的(de)重心(xin)较高，在高速运转(zhuan)时(shi)稳(wen)定性差，故这(zhei)种型式多(duo)用(yong)于(yu)小(xiao)泵(beng)。

卧式泵的(de)进(jin)气(qi)口(kou)在上，排(pai)气(qi)口(kou)在下。有时为了真空(kong)系统(tong)管道安(an)装连接方(fang)便，可将排(pai)气(qi)口(kou)从水平方(fang)向接出(chu)，即进(jin)、排(pai)气(qi)方(fang)向是相互垂直的(de)。此时，排(pai)气(qi)口(kou)可以从左(zuo)或右两(liang)个方(fang)向开(kai)口(kou)，除(chu)接排(pai)气(qi)管道一端外，另一端堵死或接旁通(tong)阀(fa)。这种(zhong)泵结构重心(xin)低(di)，高速运转时稳定(ding)性好(hao)。一般大(da)、中型泵多采用此种(zhong)结构。

泵(beng)的(de)两个转(zhuan)子轴与水(shui)平面垂直安装(zhuang)。这(zhei)种结(jie)构(gou)装(zhuang)配(pei)间隙容(rong)易控制，转(zhuan)子装(zhuang)配(pei)方便，泵(beng)占地面积(ji)小。但泵(beng)重心较高且齿轮拆装(zhuang)不便，润滑机构(gou)也相对(dui)复杂(za)。

（2） 泵的(de)传动方(fang)式

真空泵的(de)(de)两个(ge)转子(zi)(zi)(zi)是通(tong)过一对高精(jing)度齿轮(lun)来实现其相对同步运(yun)转的(de)(de)。主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)通(tong)过联轴(zhou)(zhou)器与电(dian)机(ji)(ji)联接。在(zai)传动(dong)结(jie)构(gou)布置上主(zhu)要有以下(xia)两种：其一是电(dian)动(dong)机(ji)(ji)与齿轮(lun)放在(zai)转子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)同一侧(ce)如(ru)图。从动(dong)转子(zi)(zi)(zi)由(you)电(dian)动(dong)机(ji)(ji)端齿轮(lun)直接传过去带(dai)动(dong)，这样主(zhu)动(dong)转子(zi)(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)扭转变形(xing)小，则两个(ge)转子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)间隙不(bu)会(hui)因主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)扭转变形(xing)大而(er)改变，故使(shi)转子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)间隙在(zai)运(yun)转过程中均匀。这种传动(dong)方式的(de)(de)最大缺点是：a.主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)上有三个(ge)轴(zhou)(zhou)承，增加了泵的(de)(de)加工和装配难(nan)度，齿轮(lun)的(de)(de)拆装及调整(zheng)也不(bu)便(bian)；b.整(zheng)体结(jie)构(gou)不(bu)匀称，泵的(de)(de)重心(xin)偏向电(dian)动(dong)机(ji)(ji)和齿轮(lun)箱一侧(ce)。

    极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)”是(shi)真(zhen)空(kong)泵的(de)一(yi)(yi)个(ge)重要参(can)数，是(shi)反(fan)应泵抽气(qi)能力的(de)特性值，是(shi)与真(zhen)空(kong)泵相关的(de)一(yi)(yi)个(ge)数值，不同(tong)(tong)的(de)真(zhen)空(kong)泵可以有不同(tong)(tong)的(de)“极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)”度。而“理论真(zhen)空(kong)”是(shi)理论研究(jiu)时(shi)的(de)一(yi)(yi)个(ge)概念，是(shi)排除各种实际因素的(de)影响而提(ti)炼出的(de)一(yi)(yi)种最理想的(de)真(zhen)空(kong)状态。真(zhen)空(kong)容器(qi)经(jing)充分抽气(qi)后，稳定在(zai)某(mou)一(yi)(yi)真(zhen)空(kong)度，此真(zhen)空(kong)度称为极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)。通常(chang)真(zhen)空(kong)容器(qi)须经(jing)12小(xiao)时(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小(xiao)时(shi)抽真(zhen)空(kong)，最后一(yi)(yi)个(ge)小(xiao)时(shi)每隔10分钟(zhong)测量一(yi)(yi)次(ci)(ci)，取(qu)其10次(ci)(ci)的(de)平均(jun)值为极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)值。